2022年9月，上海復享光學股份有限公司（以下簡稱“復享光學”）通過與頭部客戶的深度打磨和產(chǎn)線驗證，歷時一年，完成了針對刻蝕應用場景的光譜儀—ZURO系列產(chǎn)品的研發(fā)與量產(chǎn)導入，為集成電路產(chǎn)業(yè)提供了面向6、8、12寸制程刻蝕工藝的光譜檢測解決方案。
ZURO系列光譜儀匹配半導體行業(yè)標準，滿足針對金屬刻蝕、單多晶硅刻蝕、化合物刻蝕及高速清洗等多個應用場景需求，具有信號精準、性能長期穩(wěn)定、Fab生產(chǎn)環(huán)境適應等特點。該系列產(chǎn)品具備高靈敏、高信噪比等優(yōu)勢，單幀采集最大動態(tài)范圍突破40000:1，優(yōu)于同類國外產(chǎn)品，能夠有效提取深孔和多晶硅刻蝕過程中的弱信號。此外，為ZURO系列光譜儀配備的軟件，ideaEPD是一款由復享光學深入客戶應用開發(fā)的Fab工藝專用軟件，支持自定義終點算法、工藝終點分析、高速采樣監(jiān)控、刻蝕深度監(jiān)控等功能，能實現(xiàn)多達10臺腔體的同時監(jiān)控。復享光學已完成ZURO系列產(chǎn)品的國產(chǎn)驗證與量產(chǎn)準備，能為客戶進行差異化的定制開發(fā)，解決頭部客戶的關(guān)鍵光學零部件供應安全問題。目前，復享光學的多系列光譜模組產(chǎn)品已經(jīng)獲得多家半導體頭部客戶的驗證、生產(chǎn)導入及小批量訂單。隨著對需求響應的不斷深入和工程參數(shù)的持續(xù)優(yōu)化，復享光學從起量階段逐步進入到放量階段，以光譜硬科技助力產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
復享光學歷時十年，深耕微納光電子領(lǐng)域，發(fā)展智能化全光譜技術(shù)，著力于光子學與人工智能的融合，形成了算法驅(qū)動的深度光譜平臺，成為了中國領(lǐng)先的晶圓級制造與量檢測設(shè)備關(guān)鍵零部件光譜模組供應商。
復享光學創(chuàng)始團隊出身于國內(nèi)資深光子學研究實驗室，在發(fā)展中進一步吸納了海內(nèi)外微納光電子領(lǐng)域知名研究人員和半導體產(chǎn)業(yè)專家，已擁有近百項知識產(chǎn)權(quán)。
值得一提的是，復享光學于2019年獲批成立“上海微納制程智能檢測工程技術(shù)研究中心”，這是國內(nèi)首個在半導體領(lǐng)域開展微納制程光學量檢測技術(shù)研究的應用平臺。為進一步探索集成電路領(lǐng)域光檢測基礎(chǔ)技術(shù)，公司于2021年與復旦大學共同建立“光檢測與光集成校企聯(lián)合研究中心”，致力于攻關(guān)微納制造產(chǎn)業(yè)中更為前沿的共性關(guān)鍵技術(shù)與工藝問題。
據(jù)復享光學介紹，隨著集成電路制程先進工藝的不斷提升和新型光電子芯片應用的興起，晶圓制造工藝的量檢測需求日益凸顯。光學衍射極限的存在使得成像技術(shù)難以滿足產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求，光譜分析技術(shù)已存在于各類微納制造與量檢測設(shè)備之中，成為支撐集成電路和光電子芯片產(chǎn)業(yè)制造工藝的關(guān)鍵技術(shù)之一。
半導體設(shè)備是半導體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。晶圓前道制造是半導體制程中最重要的階段。光刻、薄膜沉積、刻蝕、摻雜、表面處理等環(huán)節(jié)的工藝中與工藝間控制都需要用到多種光學與電學檢測手段，是確保晶圓生產(chǎn)良率的關(guān)鍵。隨著制程精度的提升，光學檢測的比重將進一步擴大。縱觀當前集成電路制造過程中的量檢測設(shè)備，都離不開深度光譜技術(shù)。據(jù)行研報告了解，目前，我國半導體設(shè)備國產(chǎn)化率尚不足10%，關(guān)鍵零部件不足1%，光譜模組則幾乎為零，“產(chǎn)業(yè)鏈全面國產(chǎn)化”已成為這個時代的一大主題。
復享光學作為國內(nèi)光學領(lǐng)域領(lǐng)軍企業(yè)，提供芯片制程工藝控制中各類光譜模組及量檢測解決方案。通過十年的行業(yè)積累，公司已擁有超3000家優(yōu)質(zhì)客戶，成功進入半導體產(chǎn)業(yè)頭部企業(yè)的供應商名錄，并與超170家半導體、高端材料、生物醫(yī)藥企業(yè)形成交流與合作。
賦能中國微納制造，將是復享光學未來一段時期內(nèi)的首要任務(wù)。復享光學創(chuàng)始人殷?，|博士表示，接下來一年，公司將持續(xù)聚焦高端光譜模組的品質(zhì)提升、技術(shù)迭代以及產(chǎn)能擴大，以進一步滿足下游設(shè)備企業(yè)需求。
復享光學于2021年完成超億元B輪融資，由半導體頭部產(chǎn)業(yè)基金中芯聚源領(lǐng)投，上?？苿?chuàng)集團、中科創(chuàng)星、長江證券、海通證券、泰坦科技跟投。據(jù)悉，復享光學近期將啟動C輪融資，資金用于高端人才擴充、生產(chǎn)場地擴容、研發(fā)設(shè)備升級，以及微納制造領(lǐng)域前沿技術(shù)布局等戰(zhàn)略方向。
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